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一種紫光led的外延生長方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7045367

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本發(fā)明提出一種新的生長紫光LED外延的方法,適合波長范圍365-420nm,能夠很大程度降低紫光LED的生長難度,同時提升紫光LED的輻射功率,并有效提高了紫光LED器件的可靠性。本發(fā)明中采用摻雜n型AlGaN/GaN超晶格結(jié)構(gòu),其中的勢壘層AlGaN和勢阱層GaN周期性交替摻雜,可以集中n型載流子濃度,不同層的濃度呈現(xiàn)周期濃度變化,周期性電導的變化能夠使得電流擴散更好,同時電導變化區(qū)加寬,使得線性缺陷的漏電通道穿透效果減弱,能夠降低正向電壓,提高ESD。...
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