技術(shù)編號(hào):7045825
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提出了一種走線單元,包括本體,以及沿水平方向等間距形成在所述本體上的多個(gè)用于承載硅片的承片槽;所述承片槽均在水平方向上朝向同一方向傾斜設(shè)置,并且所述承片槽的任一側(cè)壁所在的平面和與水平方向垂直的豎直平面之間均形成相同的第一預(yù)設(shè)夾角;其在本體上形成有朝向同一方向傾斜的多個(gè)承片槽,并且承片槽的側(cè)壁所在平面和水平方向垂直的豎直平面之間形成的相同的第一預(yù)設(shè)夾角,當(dāng)把相同厚度的硅片分別放置在多個(gè)承片槽內(nèi),硅片均朝向同一方向傾斜,并且傾斜的角度均大致相等,從而使得...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。