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晶圓級(jí)銅柱微凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)及制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7047108

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本發(fā)明涉及一種,包括晶圓、多個(gè)導(dǎo)電柱體和介質(zhì)層,導(dǎo)電柱體包括聚合物核心、電鍍種子層和金屬銅層,導(dǎo)電柱體上表面露出介質(zhì)層上表面、并設(shè)置凸點(diǎn),導(dǎo)電柱體下表面與晶圓上的焊盤(pán)連接。所述晶圓級(jí)銅柱微凸點(diǎn)結(jié)構(gòu)的制作方法,包括以下步驟(1)在晶圓上表面涂覆聚合物層,刻蝕得到聚合物核心;(2)在晶圓上表面制作電鍍種子層;在電鍍種子層上表面制作金屬銅層;(3)刻蝕掉不需要的電鍍種子層和金屬銅層;(4)導(dǎo)電柱體間填充介質(zhì);(5)在步驟(4)結(jié)構(gòu)上表面涂覆光刻膠,露出金屬銅層上...
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