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技術(shù)編號：7047813

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一種，包括在一具有藍(lán)寶石襯底的氮化鎵LED外延片上表面的P型氮化鎵層上沉積SiO2層并制作圖形；在圖形上制作一單層微納米球，形成基片；將基片加熱，使得微納米球坍塌為半球型并固定在SiO2圖形的上表面上；去除圖形中的SiO2層的部分；在SiO2層的上表面蒸鍍反光金屬薄膜，并電鍍金屬銅；采用激光剝離技術(shù)去除外延片中的藍(lán)寶石襯底，露出P型氮化鎵層另一面的N型氮化鎵層的表面；在N型氮化鎵層的表面沉積金屬薄膜，作為N電極，位置剛好對應(yīng)于下方微納米半球形成的曲面，完成...
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