技術(shù)編號(hào)：7047949
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供，包括步驟首先，提供襯底，在所述襯底上形成石墨烯；然后，在所述石墨烯表面形成暴露出石墨烯兩端的邊緣的BN薄膜，；接著，定義源、漏電極區(qū)域，形成金屬催化層，并在氫氣氣氛中進(jìn)行退火，使所述金屬催化層團(tuán)聚形成催化顆粒，所述氫氣沿著所述催化顆粒的邊緣與石墨烯及BN反應(yīng)，在石墨烯及BN表面形成鋸齒狀結(jié)構(gòu)的孔洞；形成源、漏金屬電極、柵介質(zhì)層以及柵極。本發(fā)明采用金屬催化層刻蝕石墨烯，在氫氣氛圍下退火的過(guò)程中，金屬催化層團(tuán)聚形成小的顆粒，氫氣沿著顆粒的邊緣刻蝕B...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。