技術編號：7047950
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供，所述方法至少包括1)提供一柔性襯底，將所述柔性襯底粘附至一硬性襯底，并在所述柔性襯底上形成石墨烯導電溝道；2)采用電子束曝光圖形化形成源、漏電極圖形，沉積金屬并剝離在所述石墨烯導電溝道的兩端形成源、漏金屬電極；3)采用低溫沉積工藝在步驟2)獲得的結構表面沉積形成柵介質層；4)刻蝕所述柵介質層暴露出石墨烯導電溝道兩端的源、漏金屬電極；5)采用電子束曝光圖形化形成柵電極圖形，沉積金屬并剝離在所述石墨烯導電溝道之間的柵介質層上形成柵電極；6)形成接觸...
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