技術(shù)編號：7049291
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，更具體地，本發(fā)明涉及一種孔洞在先的硬掩模限定。背景技術(shù)半導(dǎo)體存儲裝置被使用在用于包括收音機、電視、移動電話以及個人計算裝置的電子應(yīng)用方式的集成電路中。普遍公知的存儲裝置包括電荷存儲裝置，諸如，動態(tài)隨機存儲器(DRAM)和閃存。近來，存儲裝置的發(fā)展涉及到了將半導(dǎo)體技術(shù)與電磁材料結(jié)合的自旋電子器件。使用電子的自旋極化，而不再使用電子電荷來表示狀態(tài)“ I ”或“ O ”。一種這類的自旋電子器件是自旋力矩轉(zhuǎn)移(STT)磁隧道結(jié)(MTJ)器件。...
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