技術(shù)編號：7050735
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供，從藍寶石晶棒切出的浪費少，能夠確保使與由氮化鎵系列化合物半導(dǎo)體構(gòu)成的發(fā)光層的融合良好的A面成為正背面的藍寶石基板的面精度。在該中，對從藍寶石晶棒切出并由A面形成了正面和背面的藍寶石基板進行磨削加工，包含保持工序，在保持被加工物并能夠旋轉(zhuǎn)的卡盤工作臺上保持藍寶石基板的一面；以及磨削工序，使保持有藍寶石基板的卡盤工作臺旋轉(zhuǎn)，并且一邊使環(huán)狀地配設(shè)有磨削石的砂輪旋轉(zhuǎn)一邊使磨削石與藍寶石基板的另一面接觸而對藍寶石基板的另一面進行磨削，在該磨削工序中，作為...
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