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用于摻氮的淺溝槽隔離介電質(zhì)的方法和結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7051662

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本發(fā)明公開(kāi)了一種具有摻氮的填充介電質(zhì)的隔離部件以及形成該隔離部件的方法。在一個(gè)示例性實(shí)施例中,形成隔離部件的方法包括接收具有頂面的襯底。在襯底中蝕刻凹槽,該凹槽從頂面延伸至襯底中。在凹槽內(nèi)沉積介電質(zhì),使得沉積介電質(zhì)包括在化學(xué)汽相沉積工藝過(guò)程中引入氮。因此,沉積的介電質(zhì)包括摻氮的介電質(zhì)。沉積的介電質(zhì)可以包括摻氮的氧化硅。在一些實(shí)施例中,沉積介電質(zhì)使摻氮的介電質(zhì)與凹槽的表面相接觸。在又一些實(shí)施例中,在凹槽內(nèi)沉積介電質(zhì)之前在凹槽內(nèi)沉積襯墊材料。專(zhuān)利說(shuō)明用于摻氮的...
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