技術(shù)編號(hào)：7052735
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種機(jī)械手臂位置調(diào)整的輔助裝置，通過在晶圓盒上臨近晶圓槽的的內(nèi)壁上設(shè)置位置感測(cè)器以檢測(cè)晶圓是否被置放在預(yù)設(shè)區(qū)域處，并在晶圓盒后方設(shè)置與晶圓槽在水平方向上對(duì)應(yīng)的槽位標(biāo)記。在調(diào)整機(jī)械手臂的過程中，一旦該位置檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)發(fā)射裝置發(fā)射的信號(hào)被晶圓擋住，此時(shí)，位置檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)接收裝置因無法接收到信號(hào)而觸發(fā)警示燈亮起，以給予工程師明確的指示，并進(jìn)行相應(yīng)的位置調(diào)整。在提高工作效率的同時(shí)，也進(jìn)一步提高了工作質(zhì)量，避免了機(jī)械手臂與FOU...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。