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磨削裝置制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7053906

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本發(fā)明提供磨削裝置,其既能夠防止在修整板的上表面形成級差,又能夠抑制修整板的消耗。磨削裝置(10)至少具有對接觸到保持在卡盤臺(tái)(11)的被加工物(20)的磨削磨石(132)的磨削面進(jìn)行修整的修整單元(14),其中,修整單元(14)具有保持部(141),其保持圓板狀的修整板(15);推壓單元(142),其使保持部(141)在接近和遠(yuǎn)離磨削面的方向上移動(dòng),并將修整板(15)的上表面向磨削面推壓;以及旋轉(zhuǎn)單元(145),其以在磨削磨石(132)的軌道上配置的旋轉(zhuǎn)...
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