技術(shù)編號：7054198
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種電感結(jié)構(gòu)的制作方法和電感結(jié)構(gòu)，本發(fā)明電感結(jié)構(gòu)的制作方法包括提供襯底；在襯底上形成介質(zhì)層和位于所述介質(zhì)層中的電感線圈，介質(zhì)層覆蓋所述電感線圈；對介質(zhì)層表面進(jìn)行平坦化處理；在位于電感線圈內(nèi)部區(qū)域的介質(zhì)層中形成第一凹槽；在第一凹槽內(nèi)形成磁性層。本發(fā)明電感結(jié)構(gòu)包括上表面齊平的介質(zhì)層；位于介質(zhì)層中的電感線圈；位于所述電感線圈內(nèi)部區(qū)域的介質(zhì)層中的磁性層，磁性層能夠增加電感線圈的感值，由于對介質(zhì)層表面進(jìn)行平坦化處理，能夠使介質(zhì)層上表面保持齊平，不會因?yàn)殡姼?..
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