技術(shù)編號：7054812
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及通過由電暈放電生成的離子化空氣將通過靜電而帶電的對象物除電的背景技術(shù)在進行半導體基板等電子部件的制造及組裝時，如果使電子部件或用于對其進行處理的器件等帶靜電，則有時灰塵等異物附著于電子部件上，或因放電而將電子部件內(nèi)的電路破壞。為防止該情況，目前正在使用通過對由靜電帶電的對象物吹附離子化空氣而將對象物除電的稱作“靜電除電器”的除電裝置(參照專利文獻I 4)。為生成離子化空氣，通常利用直流或交流的電暈放電。通過電暈放電生成的離子化空氣通常通過壓縮空氣...
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