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一種芯片的砷化鎵襯底的高溫蝕刻方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7055157

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本發(fā)明公開(kāi)了,步驟如下A.在藥水槽中配制氨水、雙氧水和水的混合液,當(dāng)藥水溫度升至48℃~52℃時(shí),將待蝕刻花籃放入藥水槽中5~7分鐘;B.取出蝕刻花籃,將芯片的平邊在豎直面內(nèi)旋轉(zhuǎn)175°~185°;C.再次將蝕刻花籃浸入溫度為48℃~52℃的藥水槽中1分25秒~1分35秒;D.取出蝕刻花籃,將芯片的平邊在豎直面內(nèi)旋轉(zhuǎn)175°~185°;E.將蝕刻花籃浸入溫度為48℃~52℃的藥水槽中25~35秒;F.取出蝕刻花籃直接浸入室溫的盛有氨水、雙氧水和水的混合液的...
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