技術(shù)編號：7056464
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。包括襯底、P型重?fù)诫s區(qū)、N型重?fù)诫s區(qū)、介質(zhì)層以及金屬層，N型重?fù)诫s區(qū)在靠近PN結(jié)處呈尖角狀，介質(zhì)層上開設(shè)的接觸孔一和接觸孔二，金屬層包括金屬層一至四，金屬層三與金屬層四之間有間隙，接觸孔一在靠近PN結(jié)的一側(cè)方向上呈尖角狀，接觸孔二呈矩形狀。其制造方法包括步驟1)利用離子注入工藝注入P型硅材料；2)進行熱過程推結(jié)；3)通過光刻工藝對P型重?fù)诫s區(qū)進行選擇性注入N型雜質(zhì)形；4)進行PMD淀積；5)通過光刻腐蝕工藝形成接觸孔和金屬層。本發(fā)明利用二極管正...
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