技術(shù)編號(hào)：7058085
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了電子元器件制造領(lǐng)域的高壓二極管硅塊臺(tái)面腐蝕化學(xué)處理裝置，一種高壓硅堆管芯化學(xué)處理裝置。包括混合酸槽、第一水洗槽、硝酸槽、第二水洗槽、氫氟酸槽、第三水洗槽和機(jī)械手?jǐn)[臂，各化學(xué)處理槽體順序排列，機(jī)械手?jǐn)[臂位于槽體上方，機(jī)械手?jǐn)[臂安裝在槽體上方的滑軌上，其特征在于機(jī)械手?jǐn)[臂上設(shè)有氣動(dòng)升降機(jī)構(gòu)，機(jī)械手?jǐn)[臂在氣動(dòng)裝置控制下上下運(yùn)動(dòng)，裝有硅塊模的托架懸掛在機(jī)械手?jǐn)[臂上，裝有硅塊模的托架依次浸入各化學(xué)處理槽體。本發(fā)明具有提高效率、節(jié)能減排和降低設(shè)備故障率等優(yōu)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。