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一種高功率低偏振度的800nm波段SLD外延結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7059191

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本發(fā)明提供一種高功率低偏振度的800nm波段SLD外延結(jié)構(gòu),包括在N型襯底11上順序?qū)盈B的N型緩沖層12、N型下包層13、下漸變層14、有源層15、上漸變層16、P型上包層17和P型接觸層18,所述有源層15的材料為GaAs(1-x)Px,其中所述x為材料磷組分,且0.01≤x≤0.08。本發(fā)明提供的高功率低偏振度的800nm波段SLD外延結(jié)構(gòu)中,采用GaAsP作為量子阱結(jié)構(gòu)的阱層材料,通過(guò)調(diào)整阱層的組分來(lái)調(diào)整應(yīng)變量和發(fā)光波長(zhǎng),使TE模和TM模的模式增益趨...
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