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二階光柵相干垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7061093

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本發(fā)明公開了一種二階光柵相干垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器,屬于激光器。解決了現(xiàn)有技術(shù)中相干激光器結(jié)構(gòu)復(fù)雜,可靠性差的技術(shù)問(wèn)題。該激光器包括依次排列的P面電極、P型DBR、有源區(qū)、N型DBR、襯底和N面電極,P型DBR中設(shè)有具有多個(gè)氧化孔的氧化限制層,該激光器還包括一階光柵和二階光柵,一階光柵和二階光柵的偏振方向相同,偏振方向均平行或垂直于(110)晶向,二階光柵設(shè)定在出光面上,且遮擋所有出光孔及出光孔的連接處;一階光柵設(shè)定在出光面上,且設(shè)置于二階光柵的兩端。本...
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