技術編號：7061299
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種基于PID自整定的管式擴散爐溫區(qū)自動校準工藝，根據(jù)爐體中側熱電偶和控溫熱電偶檢測到的溫度，利用PID技術對管式擴散爐內溫度進行自動校準，實現(xiàn)擴散工藝的溫度穩(wěn)定和溫差自動補償，具體過程包括以下步驟（1）溫度T1的穩(wěn)定階段；（2）溫度T1溫差自動補償階段；其中溫度T1的穩(wěn)定階段為恒溫設置，溫度T1與擴散溫度T0的關系為T1=T0，T0為擴散工藝所需要的目標溫度。本發(fā)明在自動運行工藝中實現(xiàn)了溫區(qū)溫度的自動校準，且可以在同一工藝運行中實現(xiàn)多個溫區(qū)的...
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