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液狀組合物的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7061891

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本發(fā)明提供能形成基板粘附性、低體積電阻率、深部金屬性優(yōu)良的金屬銅膜和金屬銅圖案的液狀組合物。其含有銅氧化物、和金屬狀的過(guò)渡金屬或合金或者包含金屬元素的過(guò)渡金屬配合物、及25℃下的蒸氣壓小于1.34×103Pa的溶劑,所述銅氧化物、和金屬狀的過(guò)渡金屬或合金或者包含金屬元素的過(guò)渡金屬配合物被分散為其平均分散粒徑成為500nm以下且最大分散粒徑成為2μm以下,所述銅氧化物的含量相對(duì)于所述銅氧化物、和金屬狀的過(guò)渡金屬或合金或者包含金屬元素的過(guò)渡金屬配合物、及溶劑的...
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