技術(shù)編號(hào):7063715
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及納米加工技術(shù),具體是。背景技術(shù)隨著集成電路器件尺寸的不斷按比例縮小,電路集成度不斷提高,集成電路中金屬互連線的性能成為影響集成電路可靠性的關(guān)鍵因素之一。而電遷移是造成金屬互連線性能退化的主要原因。所謂電遷移,就是當(dāng)電流密度達(dá)到某一值后,金屬導(dǎo)體中的的質(zhì)量輸運(yùn)現(xiàn)象,即當(dāng)電流密度很高時(shí),通過金屬互連線的電子密度很高,這股“電子風(fēng)”會(huì)對(duì)靠近陰極附近的帶正電的金屬離子施加一個(gè)很大的跟原電場(chǎng)力方向相反的力,當(dāng)這個(gè)力足夠大時(shí), 就可以使金屬離子有足夠大的動(dòng)量...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。