技術(shù)編號(hào)：7070490
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型揭示了一種EEPROM測(cè)試結(jié)構(gòu)，用于前段工藝的檢測(cè)，包括第一金屬結(jié)構(gòu)、第二金屬結(jié)構(gòu)、第三金屬結(jié)構(gòu)和第四金屬結(jié)構(gòu)，所述第一金屬結(jié)構(gòu)和第三金屬結(jié)構(gòu)通過(guò)第一頂層金屬在上端連通，所述第二金屬結(jié)構(gòu)和第四金屬結(jié)構(gòu)通過(guò)第二頂層金屬在上端連通，所述第一金屬結(jié)構(gòu)和第二金屬結(jié)構(gòu)分別連接于選擇柵和控制柵，所述第三金屬結(jié)構(gòu)和第四金屬結(jié)構(gòu)分別引出連接線。本測(cè)試結(jié)構(gòu)有效地屏蔽了柵極結(jié)構(gòu)暴露于后段工藝的面積，從而降低甚至避免了等離子體對(duì)器件的損傷，保證了檢測(cè)結(jié)果。專利說(shuō)明EE...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。