技術(shù)編號(hào)：7073720
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及ー種能夠進(jìn)行高溫檢查以及低溫檢查的檢查裝置，更詳細(xì)地說涉及一種能夠節(jié)省使用于檢查裝置中的冷卻裝置的消耗能量的冷卻裝置的運(yùn)轉(zhuǎn)方法以及檢查裝置。背景技術(shù)例如圖4所示，以往的檢查裝置具備加載室L，其用于輸送半導(dǎo)體晶圓W ;探針室P，其用于對從加載室L輸送的半導(dǎo)體晶圓W進(jìn)行電特性檢查；以及控制裝置(未圖示)，以往的檢查裝置構(gòu)成為在控制裝置的控制下，將半導(dǎo)體晶圓W從加載室L輸送到探針室P，在探針室P內(nèi)進(jìn)行半導(dǎo)體晶圓W的電特性檢查之后，使半導(dǎo)體晶圓W返回。如...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。