技術(shù)編號(hào)：7075750
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。晶圓定位起托器，包括盒體，還包括刻度盤、繞軸、鍥型塊和繩索，刻度盤與繞軸連接在一起，同軸轉(zhuǎn)動(dòng)，繩索一端鎖定在繞軸上，另一端連接在鍥形塊上，所述的鍥形塊、繩索安放在盒體中，刻度盤放置在盒體外，繞軸垂直穿過盒體側(cè)壁。根據(jù)經(jīng)驗(yàn)值在刻度盤上標(biāo)注編號(hào)，通過刻度盤轉(zhuǎn)動(dòng)來托起晶圓。專利說明晶圓定位起托器 所屬[0001] 本實(shí)用新型涉及晶圓轉(zhuǎn)送過程中使用的輔助裝置，具體地說，涉及一種晶圓定位 起托器。背景技術(shù)[0002] 在晶圓生產(chǎn)制造過程中，操作工根據(jù)檢測需要，從晶舟...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。