技術(shù)編號：7076870
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開了一種均勻擴(kuò)散硼擴(kuò)散爐反應(yīng)氣的結(jié)構(gòu)，包括設(shè)置于石英舟上端的上隔板、設(shè)置于石英舟下端的下隔板、用于通入反應(yīng)氣的進(jìn)氣管、排出反應(yīng)后氣體的抽排管，上隔板上均勻設(shè)置有進(jìn)氣孔，下隔板上均勻設(shè)置有出氣孔，進(jìn)氣管一端通入反應(yīng)氣，進(jìn)氣管的另一端位于上隔板的上端，抽排管的一端位于下隔板的下端，抽排管的另一端接入硼擴(kuò)散爐的主抽排管；本實(shí)用新型采用在石英舟上下兩側(cè)放置隔板，為反應(yīng)氣設(shè)置有引導(dǎo)的預(yù)定路徑，使反應(yīng)氣均勻分布于硅片的中間流道內(nèi)，形成均勻擴(kuò)散，有效解決了工...
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