技術(shù)編號：7078199
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及ー種用于開閉對構(gòu)成FOUP的一部分的基板的取出ロ進(jìn)行堵塞的蓋體的蓋體開閉裝置。背景技術(shù)作為半導(dǎo)體制造裝置之一，例如有一種對多個(gè)半導(dǎo)體晶圓(以下稱為晶圓)批量進(jìn)行熱處理的立式熱處理裝置。該立式熱處理裝置設(shè)置在大氣氣氛中，包括載體輸送區(qū)域，其用于輸送用于存儲(chǔ)晶圓的被稱為FOUP的載體；晶圓輸送區(qū)域，其用于將所述晶圓移載到作為基板保持器具的晶圓舟皿并向熱處理爐進(jìn)行輸送；隔壁，其設(shè)置在上述載體輸送區(qū)域與晶圓輸送區(qū)域之間。為了防止晶圓在處理過程中附著顆粒，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。