技術(shù)編號：7080930
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種多晶硅薄膜及薄膜晶體管及其陣列基板與顯示裝置，該低溫多晶硅薄膜晶體管包括基板、在基板上形成的緩沖層，以及通過構(gòu)圖工藝在緩沖層上形成的有源層，此外，在所述的有源層上還形成有絕熱保溫層。本實用新型通過在在多晶硅薄膜結(jié)構(gòu)中設(shè)計絕熱保溫層，該絕熱保溫層與緩沖層分別在有源層的上表面和下表面來抑制熔融硅中溫度的擴散，起到雙層保溫的作用，從而明顯延長多晶硅晶化的時間。同時，絕熱保溫層的圖案設(shè)計可以使有源層在圖案邊緣部分先結(jié)晶形成多晶硅籽晶，引導(dǎo)熔融硅...
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