技術(shù)編號(hào)：7080982
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種閉管擴(kuò)散容器，包括對(duì)接石英管、擴(kuò)散源容器以及外延片夾具；所述對(duì)接石英管具有一裝載石英管和一密封石英管，所述裝載石英管和所述密封石英管之間通過(guò)一環(huán)形石英套筒連接；所述擴(kuò)散源容器設(shè)于所述裝載石英管內(nèi)，其具有一裝載口，所述擴(kuò)散源容器內(nèi)裝設(shè)有擴(kuò)散源和石棉；所述外延片夾具設(shè)于所述裝載石英管內(nèi)，所述外延片夾具內(nèi)裝設(shè)有外延片。使用所述對(duì)接石英管，可以實(shí)現(xiàn)外延片大尺寸擴(kuò)散；使用擴(kuò)散源容器和石棉，擴(kuò)散源不會(huì)污染外延片；使用外延片夾具，可以相對(duì)固定外延片，還...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。