技術(shù)編號(hào)：7085451
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型公開一種晶圓級(jí)芯片用噴涂裝置，所述晶圓級(jí)芯片表面的四周邊緣區(qū)域分布有若干個(gè)盲孔；所述晶圓級(jí)靜電噴涂裝置包括腔體、金屬托盤、噴嘴和靜電發(fā)生器，所述噴嘴上端安裝有高壓氣體輸入管，噴嘴側(cè)壁安裝有用于傳輸保護(hù)光阻液的液體傳輸管，所述金屬托盤設(shè)置于腔體底部的中央?yún)^(qū)域，所述靜電發(fā)生器的第一電極輸出端通過導(dǎo)線連接到金屬托盤，所述靜電發(fā)生器的第二電極輸出端通過導(dǎo)線連接到噴嘴，所述晶圓級(jí)芯片放置于所述金屬托盤上表面上。本實(shí)用新型有利于在高深寬比的盲孔內(nèi)，將保護(hù)光阻...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。