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半導(dǎo)體裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7089266

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體裝置及。另外,在本說明書中半導(dǎo)體裝置是指能夠通過利用半導(dǎo)體特性而工作的所有裝置,因此電光裝置、半導(dǎo)體電路以及電子設(shè)備都是半導(dǎo)體裝置。 背景技術(shù)近年,使用形成在具有絕緣表面的襯底上的半導(dǎo)體薄膜構(gòu)成晶體管的技術(shù)備受關(guān)注。該晶體管被廣泛地應(yīng)用于集成電路(IC)及圖像顯示裝置(顯示裝置)等電子設(shè)備。作為可以用于晶體管的半導(dǎo)體薄膜,硅類半導(dǎo)體材料廣為周知,除此之外,作為其他材料,氧化物半導(dǎo)體受到關(guān)注。例如,已經(jīng)公開有ー種作為活性層使用電子載流子濃...
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