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蝕刻、顯影、清洗以及褪膜設(shè)備、噴淋處理設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7090233

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本實用新型公開了一種蝕刻、顯影、清洗以及褪膜設(shè)備、噴淋處理設(shè)備,該噴淋處理設(shè)備包括支撐裝置和噴淋裝置,支撐裝置用于支撐待處理的基材,且支撐裝置的支撐平面相對水平面傾斜設(shè)置,以使得基材與水平面成預(yù)定角度傾斜;噴淋裝置用于向傾斜設(shè)置的基材噴淋處理液。通過上述方式,本實用新型能夠提升處理液處理基材的均勻性。專利說明蝕刻、顯影、清洗以及褪膜設(shè)備、噴淋處理設(shè)備 [0001]本實用新型涉及噴淋處理,特別是涉及一種蝕刻、顯影、清洗以及褪膜設(shè)備、噴淋處理設(shè)備。 背...
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