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用于制造半導(dǎo)體襯底的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7098940

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本發(fā)明涉及。背景技術(shù) 可以通過(guò)結(jié)合兩個(gè)或更多層制造復(fù)雜的半導(dǎo)體襯底。一類這樣的工程化襯底是絕緣體上半導(dǎo)體類型的襯底,其中,將頂端半導(dǎo)體層粘合在機(jī)械支撐層上,兩者之間具有介電層。對(duì)于頂端半導(dǎo)體層,可以采用諸如InGaN (氮化銦鎵)的III/V半導(dǎo)體材料。關(guān)于用于機(jī)械支撐的材料,通常采用藍(lán)寶石(這種情況下)。電子學(xué)、微電子學(xué)、光學(xué)電子學(xué)或光電池領(lǐng)域中,采用這種半導(dǎo)體襯底。為了制造這種半導(dǎo)體襯底,例如InGaNOS (粘合在藍(lán)寶石機(jī)械支撐上的氮化銦鎵層)襯底...
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