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半導(dǎo)體裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7100035

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本發(fā)明涉及在微波/毫米波帶中使用的半導(dǎo)體裝置,特別涉及能夠有效地進(jìn)行散熱的半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù)近年來(lái),作為雷達(dá)或通信基礎(chǔ)設(shè)施用的高輸出放大器,使用了氮化物半導(dǎo)體的半導(dǎo)體裝置增加。氮化物半導(dǎo)體與以往的Si或GaAs相比較,飽和電子速度高并且絕緣擊穿電場(chǎng)高,所以,有希望作為高頻高輸出器件用材料。在以往的高頻高輸出器件用封裝中,在基體構(gòu)件上對(duì)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行芯片焊接,經(jīng)由導(dǎo)線或引線輸入輸出高頻信號(hào)。在封裝上部設(shè)置蓋,對(duì)半導(dǎo)體芯片進(jìn)行氣密密封。由晶體管所產(chǎn)生的熱經(jīng)由...
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