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技術(shù)編號：7100839

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光電芯片制造領(lǐng)域，尤其涉及一種LED芯片的鍵合方法，實現(xiàn)高可靠性以及高良率的LED芯片鍵合。背景技術(shù)照明發(fā)光二極管(light-emitting diode, LED)根據(jù)發(fā)光材料的不同可以發(fā)射不同顏色的光。1993年，藍色氮化鎵(GaN)LED技術(shù)獲得突破，在此基礎(chǔ)上1996年實現(xiàn)了無機LED白光發(fā)射。由于LED具有低電壓驅(qū)動、全固態(tài)、低功耗、無頻閃、高可靠性等優(yōu)點，作 為新一代照明用光源而備受矚目，為適應(yīng)其照明的需求，要求進一步提高LE...
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