技術(shù)編號：7102303
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，具體而言，涉及應(yīng)力降低裝置。背景技術(shù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)由于各種電子元件(諸如晶體管、二極管、電阻器，電容器等)的集成密度的不斷提高而經(jīng)歷了快速增長。在大多數(shù)情況下，這種集成密度的提高源于最小部件尺寸的不斷減小，從而容許更多的元件集成到給定的面積中。最近隨著甚至更小的電子器件的需求在增長，在半導(dǎo)體管芯中集成電感器的需要也在增長?？梢栽诎雽?dǎo)體器件襯底的表面上形成在平行于襯底表面的平面中形成的螺旋形狀的電感器。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，嵌入在半導(dǎo)體器件...
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