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裂縫檢測線器件和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:7103387

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本發(fā)明一般涉及半導(dǎo)體器件的制作并且更具體地涉及用于半導(dǎo)體器件的測試結(jié)構(gòu)和方法。背景技術(shù)一般通過切割工藝從晶片單一化芯片。切割工藝可能在單一化的芯片中產(chǎn)生或者引起管芯裂縫或者碎屑。發(fā)明內(nèi)容根據(jù)本發(fā)明的實施例,公開一種半導(dǎo)體器件。該半導(dǎo)體器件包括在芯片內(nèi)的裂縫·檢測線,裂縫檢測線包圍芯片的內(nèi)區(qū)域,其中裂縫檢測線包括第一端子和第二端子。該半導(dǎo)體器件還包括測試電路,連接到第一端子和第二端子,測試電路被配置成在裂縫檢測線之上測量信號;以及輸出端子,輸出端子連接到測試...
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