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技術(shù)編號：7105349

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本發(fā)明屬于光電器件領(lǐng)域，涉及。背景技術(shù)透明導(dǎo)電氧化物(TCO)通常具有禁帶寬、光透射率高和電阻率低等特點(diǎn)，在太陽能電池、平面顯示、電磁屏蔽、特殊功能窗口涂層等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。目前，摻錫氧化銦(ΙΤ0)、摻氟氧化錫(FTO)和摻鋁ZnO (AZO)等透明導(dǎo)電薄膜在光電領(lǐng)域已得到廣泛應(yīng)用，但存在柔韌性差，不能滿足柔性器件的應(yīng)用要求。近年發(fā)展的氧化物-金屬-氧化物(OMO)(如 ITOI Ag IΙΤ0, WO31 Ag IWO3, ZnO | Ag | Z...
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