技術(shù)編號：7108652
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及將微波導(dǎo)入處理容器進(jìn)行規(guī)定的處理的微波處理裝置和使用微波處理裝置的被處理體的處理方法。背景技術(shù)在半導(dǎo)體器件的制造過程中，對作為被處理基板的半導(dǎo)體晶片實(shí)施成膜處理、蝕刻處理、氧化擴(kuò)散處理、改良處理、退火處理等的各種熱處理。通常，這種熱處理是通過使用具備加熱用的燈或加熱器的基板處理裝置對半導(dǎo)體晶片加熱而進(jìn)行的。然而，近年來，作為對半導(dǎo)體晶片實(shí)施熱處理的裝置，已知有使用微波來代替燈或加熱器的裝置。例如，在專利文獻(xiàn)I中記載有使用微波能量進(jìn)行硬化、退火(a...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。