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一種去除金屬層冗余金屬填充的制造工藝的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7109775

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本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造工藝,特別是涉及一種去除金屬層冗余金屬填充的制造工藝ο背景技術(shù)隨著半導(dǎo)體芯片的集成度不斷提高,晶體管的特征尺寸不斷縮小。進(jìn)入到130納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)之后,受到鋁的高電阻特性的限制,銅互連逐漸替代鋁互連成為金屬互連得主流。由于銅的干法刻蝕工藝不易實(shí)現(xiàn),銅導(dǎo)線的制作方法不能像鋁導(dǎo)線那樣通過(guò)刻蝕金屬層而獲得。現(xiàn)在廣泛采用的銅導(dǎo)線的制作方法是稱作大馬士革工藝的鑲嵌技術(shù)。該工藝在硅片上首先沉積低k值介質(zhì)層,然后通過(guò)光刻和刻蝕在介質(zhì)層中形成金屬導(dǎo)線...
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