技術(shù)編號：7110555
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型為微光電子機械系統(tǒng)氣密封裝夾具，所屬為微光機電系統(tǒng)技術(shù)。背景技術(shù)微光電子機械系統(tǒng)(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems，以下簡稱MOEMS)是以微電子、光學(xué)、微機械及材料科學(xué)為基礎(chǔ)，研究、設(shè)計、制造具有特定功能的微型裝置，包括微結(jié)構(gòu)器件、微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)等。一般來說，微機械多指構(gòu)造較簡單能動作的微構(gòu)造，它是構(gòu)成微機電系統(tǒng)的要素技術(shù)，而微光機電系統(tǒng)指由微機械，控制電路以及傳感部分組成的微系統(tǒng)，它是微機...
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