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技術(shù)編號(hào)：7110618

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本發(fā)明涉及CMOS影像傳感器，尤其涉及一種CMOS影像傳感器的后端平坦化方法及像元結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)CMOS影像傳感器由于其與CMOS工藝兼容的特點(diǎn)，從而得到快速發(fā)展。相對(duì)于CXD工藝，其工藝完全與CMOS工藝兼容，其通過將光敏二極管和CMOS處理電路一起做在硅襯底上，從而在保證性能的基礎(chǔ)上大幅度降低了成本，同時(shí)可以大幅度提高集成度，制造像素更聞的廣品。傳統(tǒng)CMOS影像傳感器是使用正面光照的方法，將光敏二極管和CMOS處理電路一起做在硅襯底上使用同一層次實(shí)現(xiàn)，...
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