技術(shù)編號：7110624
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件及工藝，且特別涉及包含分離柵的。背景技術(shù)目前，常見的浮柵閃存器件按結(jié)構(gòu)通常分為兩類，一類具有浮堆疊柵結(jié)構(gòu)，而另一類則具有分離柵結(jié)構(gòu)。前者具有集成密度高的特點，常用于需要大容量的數(shù)據(jù)存儲，如U盤，S/D卡等。后者集成度較低，但因為操作電壓較低、外圍電路設(shè)計簡單、消除了過擦除的問題，更多應(yīng)用在個人電腦BIOS、網(wǎng)路通訊、各種嵌入式應(yīng)用等方面。參考圖1，傳統(tǒng)的包含分離柵的存儲器件至少包括硅襯底100、位于襯底表面的·隧穿介質(zhì)層101、浮柵10...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。