技術(shù)編號：7115224
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。背景技術(shù)發(fā)明領(lǐng)域本發(fā)明涉及有機金屬化學汽相沉積(MOCVD)反應器，尤其涉及MOCVD反應器中使用的襯托器。相關(guān)技術(shù)的描述在DenBaars和Keller的Semiconductors and Semimetals，Vol.50，Academic出版社，1997，P11-35中描述了MOCVD反應器中基于氮化鎵(GaN)的半導體裝置。MOCVD是非平衡態(tài)生長技術(shù)，它依賴于前體的蒸汽輸運和加熱區(qū)中III族烷基類和V族氫化物的后續(xù)反應。將生長氣體和摻雜物提供給...
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