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一種新型晶圓承載盒的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7118099

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本實(shí)用新型涉及周轉(zhuǎn)工具行業(yè),尤其涉及一種新型晶圓承載盒。背景技術(shù)晶圓是指娃半導(dǎo)體集成電路制作所用的娃晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓。在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的IC產(chǎn)品。單晶硅圓片由普通硅砂拉制提煉,經(jīng)過(guò)溶解、提純、蒸餾一系列措施制成單晶硅棒,單晶硅棒經(jīng)過(guò)拋光、切片之后,就成為了晶圓。在晶圓生產(chǎn)中,經(jīng)常需使用周轉(zhuǎn)工具將材料轉(zhuǎn)移到下一工序,生產(chǎn)廠商大都會(huì)使用承載盒來(lái)進(jìn)行材料的周轉(zhuǎn)。如圖I所示,一般是在承載盒的盒體11中設(shè)...
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