技術(shù)編號(hào):7120705
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。與相關(guān)申請(qǐng)的相互引用本申請(qǐng)要求2002年7月22日提出的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)No.60/397,895,我們把它整體引用到這里作參考。背景信息1.這里描述的實(shí)施例和方法與襯底處理裝置有關(guān),更具體地說(shuō),是關(guān)于具有按笛卡兒坐標(biāo)相互關(guān)聯(lián)的襯底處理裝置。2.先前研發(fā)狀況簡(jiǎn)述影響新電子裝置消費(fèi)者需求的因素之一自然是裝置的價(jià)格。反過(guò)來(lái)說(shuō),若新裝置的成本即其價(jià)格能降低,則對(duì)新電子裝置的消費(fèi)需求有利。電子裝置制造成本的很大一部分是制作電子電路的成本,首先是用于制造和處理半導(dǎo)體襯底...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。