技術(shù)編號(hào)：7122387
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及激光加工，特別是含至少相當(dāng)大部分硅的實(shí)體的激光加工。背景技術(shù) 硅與所有的鹵素劇烈反應(yīng)生成四鹵化硅。因此，硅與氟、F2、氯、Cl2、溴、Br2和碘、I2反應(yīng)，分別生成氟化硅、SiF4、氯化硅、SiCl4、溴化硅、SiBr4和碘化硅、SiI4。與氟的反應(yīng)在室溫下進(jìn)行，而其他反應(yīng)要求加熱到300℃以上。從US5266532A和US5322988A獲悉，鹵化碳的存在加快了硅的燒蝕速度。鹵化碳-硅反應(yīng)的例子是鹵化碳和硅之間的反應(yīng)不是自發(fā)的。該反應(yīng)只有在高于...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。