技術(shù)編號：7132455
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明所屬領(lǐng)域為微機電系統(tǒng)(MEMS)和集成電路(IC)封裝技術(shù)，具體涉及?，F(xiàn)有技術(shù)微機電系統(tǒng)(MEMS)是微電子學(xué)與微機械學(xué)相互融合的產(chǎn)物，它將集成電路(IC)制造工藝中的硅微細(xì)加工技術(shù)和機械工業(yè)中的微機械加工技術(shù)結(jié)合起來，制造出機、電一體甚至光、機、電一體的新器件。經(jīng)過十幾年的發(fā)展，MEMS芯片已經(jīng)相當(dāng)成熟，但是很多芯片卻沒有作為產(chǎn)品得到實際應(yīng)用，其主要原因是沒有解決封裝問題。事實上只有已封裝的MEMS器件才能成為產(chǎn)品，才能投入使用，否則只能停留在實驗...
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