技術(shù)編號(hào)：7134415
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種包括薄膜晶體管(TFTs)的半導(dǎo)體器件及其制造方法。本發(fā)明尤其涉及這樣一種包括薄膜晶體管的半導(dǎo)體器件及其制造，其中通過使非晶半導(dǎo)體膜結(jié)晶而獲得晶體半導(dǎo)體膜來形成薄膜晶體管的活性區(qū)。在絕緣表面、比如玻璃基體上形成薄膜晶體管的本發(fā)明半導(dǎo)體器件可用于各種應(yīng)用，比如活性矩陣液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器、接觸圖象傳感器和三維ICs。背景技術(shù) 近年來，本領(lǐng)域試圖在絕緣基體、比如玻璃基體或絕緣薄膜上形成高性能的半導(dǎo)體元件，目的是實(shí)現(xiàn)具有大尺寸和高分辨率的液晶...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。