技術(shù)編號(hào):7134663
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,尤其涉及一種電荷耦合裝置支架。背景技術(shù)眾所周知,導(dǎo)片機(jī)的作用在于通過(guò)校對(duì)器將晶圓旋轉(zhuǎn)至預(yù)設(shè)的角度,進(jìn)而傳輸?shù)胶罄m(xù)的工藝中,通常,為了確定其位置是否到達(dá)了預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)位置,在校對(duì)器的上方設(shè)置有電荷耦合裝置,將其鏡頭正對(duì)晶圓槽口預(yù)設(shè)的旋轉(zhuǎn)位置,如果采集到了槽口,則認(rèn)為晶圓旋轉(zhuǎn)到了預(yù)設(shè)的角度,如果沒(méi)有采集到槽口圖像,則認(rèn)為晶圓未被旋轉(zhuǎn)到預(yù)設(shè)的角度。在現(xiàn)有的技術(shù)流程中,僅僅能夠從電荷耦合裝置中采集信號(hào),以確定其旋轉(zhuǎn)位置的正確與否,而不能...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。