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半導(dǎo)體存儲(chǔ)設(shè)備及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):7143567

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本發(fā)明涉及一種具有鐵電電容的。背景技術(shù) 近年來(lái),對(duì)開(kāi)發(fā)具有電容的非易失性半導(dǎo)體存儲(chǔ)設(shè)備進(jìn)行了廣泛的研究,在該電容中很好地使用了鐵電材料的極化特性。在這些非易失性半導(dǎo)體存儲(chǔ)設(shè)備中使用的鐵電材料是具有鈣鈦結(jié)構(gòu)的晶體,并且,在這些材料中,鋯鈦酸鉛(PZT),由Pb(ZrxTi1-x)O3表示,通常被認(rèn)為是典型的一個(gè)。作為使用鐵電材料的電容,在這里公開(kāi)了,例如,在日本專利申請(qǐng)公開(kāi)No.31399/2000中,具有在其中兩個(gè)電極被Pb(ZrxTi1-x)O3的絕緣物...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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